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光学仪器及设夆/a>
试验朹/a>
粘度讠/a>
激光粒度仪
包装行业专用仪器
制样/消解设备
橡塑行业专用测试?/a>
2核心参数9/span>
l仪器种类:原子力显微镛/span>
l样品台移动范围:20mm*20mm
l样品尺寸:直徃/span>?0mm厚度?0mm
l定位检测噪声:X-Y?.25nm Z?.03nm
l产地类别:进口仪?/span>
2准确成像无交叉耦合现象
l业界**皃/span>XYZ轴线性度,样品和探针分别由独立的柔性制导扫描器控制移动
l*低的平面偏移度,全程水平扫描时平面偏移量不超迆/span>1纳米
l垂直扫描器全程伸缩时,线性度优于0.015%
l优化的水平扫描器ringing现象科学的正吐/span>sine-scan算法
2准确扫描,真正的非接触模弎/span>
l业界**的垂直扫描器,带宽超迆/span>9kHz,探针垂直伺服响应速度超过62mm/sec
l在非接触模式?快的扫描速度
l极低的探针磨损,能够保证长时间的高质量扫揎/span>
l极低的样品损伣/span>
2准确测量,真正的样品形貌
l采用业界**的低噪声迟滞检测器测量样品形貌
l业界**的极小正反测量偏离量,小亍/span>0.15%
l采用优化的散热部件,极大地降低了系统热漂移和迟滞现象
l功能强大的先进隔音罩,舱体内部主动控温用户工作效玆/span>
l开放式的设计,方便更换探针和样?/span>
l探针预定位装夹设计,简单便捷的测量激光调节过程,具有**的自上至下的直观观察系统
l创新皃/span>‛/span>十秒进针“/span>功能,探针可自动高速完成进针操佛/span>
l24位数字电控箱,三组内置锁存放大器,具夆/span>Q-control和弹性常数校准功胼/span>
2技术参?/span>
XY扫描?/span>
l闭环控制式单模块柔?/span>XY扫描?/span>
l扫描范围: 50 m 50 m (可逈/span>100 m 100 m)
l分辨玆/span>: 0.05 nm
l定位检测噪韲/span>: < 0.3 nm (带宽: 1 kHz)
l水平线?/span>: < 2nm (over 40 m scan)
Z扫描?/span>
l柔性引导高力度扫描?/span>
l扫描范围: 15 m (可逈/span>30 m)
l分辨玆/span>: 0.015 nm
l定位检测噪韲/span>: 0.03 nm (带宽: 1 kHz)
l共振频率: > 9 kHz (typically 10.5 kHz)
l表面成像噪音: < 0.03 nm (0.02 nm typical)
光学系统
l可观察样品和探针的直视同轴光学系绞/span>
l视场: 480 360 m (10 objective lens)
lCCD: 1M像素(像素分辨率: 0.4 m(/span>
物镜
l10x (0.21 NA)超长工作范围的镜夳/span>(1 m分辨玆/span>)
l20x (0.42 NA)高分辨率长工作范围的镜头(0.6 m分辨玆/span>)
信号处理
lADC: 18个通道4个高逞/span>ADC通道(50 MSPS)
X,Y咋/span>Z扫描器定位传感器皃/span>24-bit ADCs
lDAC: 12信道2个高逞/span>DAC通道(50 MSPS)
X,Y咋/span>Z扫描器定位的20-bit DACs
l**数据大小: 4096 x 4096像素
集成功能
l3个通道数字锁相放大?/span>
l热噪声法标定弹性系?/span>
l数码Q控制
外部信号介入
l20个嵌入式信号输入/输出端口
l5?/span>TTL输出: EOF EOL EOP Modulation咋/span>AC bias
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