2核心参数９�/span>

l样品台移动范围：150mm*150mm (可逈�/span>200mm*200mm)

l样品尺寸：直徃�/span>�?50mm(可逈�/span>200mm)

l产地类别：进口仪�?/span>

2**纳米测量工具助推缺陷分析和大型样品研穵�/span>

作为一位缺陷分析工程师，你的任务是提供结果。而你的仪器所提供的数据不能允许任何错误的存在、�/span>Park NX20，这架全�?精密的大型样品原子力显微镜，凭借着出色的数据准确性，在半导体和硬盘行业中大受赞扬、�/span>

2更为强大的缺陷分析解决方桇�/span>

Park NX20具备****的功能，可轻易找出仪器缺陷的原因并帮助制定更多创意的解决方案�?***的精密度为你带来高分辨率数据，让你能够更加专注于工作。与此同时，True Non-Contact?(真正非接�?/span>)扫描模式让探针尖端更锋利、更耐久，无需为频繁更换而耗费大量的时间和**、�/span>

2操作简单，入门级工程师的福韲�/span>

Park NX20拥有业界*为友好的设计和自动界面，让你在使用时无需花费大量的时间和精力，也无需为此时时监督初级工程师。借助这一系列特点，您可以更为专注于解决更为重大的问题并为客户提供及时且富有洞察力的失效分析、�/span>

2技术信息：

l三维结构研究的侧壁测野�/span>

NX20的创新构造让您可以检测样品的侧壁和表面，并测量角度。众多的功能和用途正是您的创新性研究和深刻洞察力所需的、�/span>

l表面粗糙度测野�/span>-媒介和基佒�/span>

表面粗糙度测量是Park NX20的关键应用之一，能够带来精确的缺陷分析和质量保证、�/span>

l高分辨率电性扫描模弎�/span>

*快的扫描式电容显微镜

无横向摩擦导电原子力显微镛�/span>

lTrue Sample Topography?(真正样品扫描），让压电蠕变无影踪

我们的原子力显微镜配�?**的低噪声Z轴探测器，宽噪音带宽仅有0.02 nm。这能够带来超精确样品形貌，不受沿过冲影响，且无需校准。这仅仅�?/span>Park原子力显微镜为您节省时间和带来更好数据的方式之一、�/span>

2技术特点：

l二维柔性导引扫描器，超大的100 ��m x 100 ��m扫描范围

XY轴扫描器含有对称的二维柔性和高强度压电叠堆，可在保持平面外运�?少的情况下，实现高正交运动以及纳米级样品扫描下的高响应度、�/span>

l低噪声位置传感器

行业**的低噪声Z轴探测器替代Z电压，作为样貌信号。此外，低噪�?/span>XY闭环扫描可将正向扫描和反向扫描间隙降至扫描范围的0.15%以下、�/span>

l步进扫描自动匕�/span>

借助电动样品台，步进扫描模式能够允许用户自行编程多区域成像。在重复成像过程中，该自动化功能可减少用户的工作，从而提高生产力、�/span>

l滑动连接超辐射发光二极管(SLD)镜头自动装卸

燕尾式轨道设计，轻松更换原子力显微镜镜头。该设计可将镜头自动锁定至预对准的位置，并将其连接至控制电子元件，而重复定位精度只有几微米。借助超辐射发光二极管(SLD)的低相干性，显微镜可精确成像高度反光表面和精密测野�/span>pico-Newton力对距光谱。此外，超辐射发光二极管的波长也解决了干扰问题，让用户可随意在可见光谱实验中使用原子力显微镜、�/span>

l高级扫描探针显微镜模式和选项扩展槼�/span>

只需要将可选模块插入扩展槽，您便可激活高级扫描探针显微镜模式。得益于NX系列原子力显微镜的模块化设计，其产品线产品的兼容性大大提高、�/span>

l高逞�/span>24位数字电子控制器

所月�/span>NX系列的原子力显微镜都是由相同皃�/span>NX电子控制器进行控制和处理。该控制器为一个全数字�?/span>24位高速电子单元，能够确保Park True Non-Contact^TM模式下的成像精度和速度。凭借着低噪声设计和高速处理单元，该控制器是纳米级成像和精确电压电流测量的**选择。嵌入式数字信号处理为原子力显微镜带来更为丰富的功能，进一步提升性价比，是高级研究员�?*选择、�/span>

lXY咋�/span>Z轴探测器皃�/span>24位信号解决方桇�/span>

XY轳�/span>(50 ��m)的分辨率丹�/span>0.003 nm

Z轳�/span>(15 ��m)的分辨率丹�/span>0.001 nm

l嵌入式数字信号处理功胼�/span>

三通道灵活数字锁相��弹簧常数校正（热测法（�/span>

数字Q控制

l集成式信号端叢�/span>

专用可编程信号输�?/span>/输出端口

7个输入端口和3个输出端叢�/span>

l高逞�/span>Z轴扫描器，扫描范围达15 ��m

借助高强度压电叠堆和柔性结构，标准Z轴扫描器的共振频率高辽�/span>9 kHz以上（一般为10.5 kHz）且探针皃�/span>Z轴移动速率不低亍�/span>48 mm/秒，让信息反馈更为准确�?*Z轴扫描范围可从标准的15 ��m扩展臲�/span>40��m（可选购的远距离Z轴扫描器）、�/span>

l电动XY轴样品台，可选配编码�?/span>

在电动样品台上加装编码器，可保证更高的重复定位精度，让样品定位更为准确。在配备编码器后＋�/span>XY轴样品台的行程精度低臲�/span>1 ��m且重复定位精度低臲�/span>2 ��m，耋�/span>Z轴样品台的行程精度和重复定位精度分别丹�/span>0.1 ��m咋�/span>1 ��m、�/span>

l可更换式样品枵�/span>

借助独特的镜头设计，用户可从侧面操作样品和探针。根�?/span>XY轴样品台所设定的行程范围，用户在样品台上可防止�?*样品体积为直徃�/span>150 mm x 20 mm或直徃�/span>200 mm x 20 mm、�/span>

l直视同轴高倍显微镜，集戏�/span>LED照明

定制物镜配有超长工作距离＇�/span>51 mm＋�/span>0.21的数值孔径，1.0 ��m的分辨率），带来****的镜头清晰度。直视同轴设计让用户可轻易地在样品表面找寻目标区域。为了达到更高的分辨率，我们采用亅�/span>EL20x长行程物镜，且工作距离为20 mm，数值孔径为0.42，分辨率丹�/span>0.7 ��m。得益于CCD的大体积传感器，样品视角更宽，但分辨率却不受影响。由软件控制皃�/span>LED光源能为样品表面提供足够的照明，以便清晰观察样品、�/span>

l垂直配向的电�?/span>Z轴样品台和聚焦样品台

Z轴样品台和聚焦样品台与悬臂连接，得以操控样品表面，且同时能够保证用户有着清晰的视野。此外，得益于聚焦样品台为电动且可软件控制，因此精密度可适用于透明样品和液体单元应用、�/span>