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氦镉激光器
PLASMA公司是世界上顶尖的气体激光器生产商，其产品主要特点是高质量、长寿命、中等价格、/span>
1.标准设计＋/strong>HCL系列
波长442nm |
|||||
型号 |
功率(mW) |
横模 |
偏振 |
光斑尺寸(mm) |
发散 (mrad) |
HCL-50V |
60 |
TEMOO |
100:1 |
1.6 |
0.9 |
HCL-60V(I) |
80 |
TEMOO |
100:1 |
1.6 |
0.9 |
HCL-70V(I) |
100 |
多模 |
1:1 |
2.0 |
2.5 |
HCL-100V |
100 |
TEMOO |
100:1 |
2.1 |
0.9 |
HCL-100V(I) |
150 |
TEMOO |
100:1 |
2.1 |
0.9 |
波长325nm |
|||||
型号 |
功率(mW) |
横模 |
偏振 |
光斑尺寸(mm) |
发散 (mrad) |
HCL-30UM(I)P |
30 |
多模 |
100:1 |
1.6 |
2.5 |
HCL-10U |
10 |
TEMOO |
100:1 |
1.5 |
0.9 |
HCL-30UM(I) |
35 |
多模 |
1:1 |
1.6 |
2.5 |
HCL-100U(I) |
30 |
TEMOO |
100:1 |
1.7 |
0.9 |
波长442nm?25nm |
|||||
型号 |
功率(mW) |
横模 |
偏振 |
光斑尺寸(mm) |
发散 (mrad) |
HCL-40 |
5/35 |
多模/TEMOO |
100:1/100:1 |
1.4/1.4 |
0.9/0.9 |
HCL-40M |
10/40 |
多模/TEMOO |
100:1/100:1 |
1.5/1.5 |
2.5/0.9 |
HCL-40(I) |
15/50 |
多模/TEMOO |
100:1/100:1 |
1.5/1.5 |
2.0/0.9 |
HCL-100(I) |
20/100 |
多模/TEMOO |
100:1/100:1 |
2.0/2.0 |
2.0/0.9 |
注：?I)的型号激光相干长度为30cm，不?I)的型号相干长度为10cm
2.紧凑型设计，HCCL系列
波长442nm |
|||||
型号 |
功率(mW) |
横模 |
偏振 |
光斑尺寸(mm) |
发散 (mrad) |
HCCL-10V |
10 |
TEMOO |
100:1 |
1.5 |
1.3 |
HCCL-20V |
20 |
多模 |
1:1 |
1.8 |
2.5 |
HCCL-25V |
25 |
TEMOO |
100:1 |
1.5 |
1.3 |
波长325nm |
|||||
型号 |
功率(mW) |
横模 |
偏振 |
光斑尺寸(mm) |
发散 (mrad) |
HCCL-4UM |
6 |
多模 |
1:1 |
1.8 |
2.5 |
HCCL-8UM(I) |
12 |
多模 |
1:1 |
1.8 |
2.5 |
HCCL-15UM |
15 |
多模 |
1:1 |
1.8 |
2.5 |
HCCL-30UM(I) |
25 |
多模 |
1:1 |
1.8 |
2.5 |
注：?I)的型号激光相干长?0cm，不?I)的型号相干长?0cm、/span>
氮分子激光器
氮分子激光器的发射带在UV波段，主要是337.1nm ?57.7 nm?15.9 nm、/p>
PLASMA 拥有横向和纵向激励的脉冲氮分子激光器，由于其独特的性能（波?37nm、脉冲宽度小?0ns、平均功?.01-1W），被广泛应用于微电子领域如光掩模、复杂的集成电路、薄膜电阻的生产、处理。由于其短波长更易聚焦得到小光斑，因此被用于加工亚微米量级的元件。此外，还被用于多种感光材料的高效曝光光源、/span>
参数 |
NPL-3 |
LGI-505 |
LGI-511 |
波长 m |
0.337 |
0.337 |
0.337 |
脉冲能量 J |
30 |
120 |
240 |
平均功率 mW |
3 |
120 |
240 |
光束直径 mm |
2 |
5 |
5 |
脉冲重复频率: |
1-100 |
5-1000 |
1 -1000 |
脉冲宽度 ns |
51 |
8 2 |
8 2 |
尺寸 mm |
350x325x150 |
484x510x215 |
1140x525x345 |
重量 kg |
10 |
35 |
105 |
电压 V |
220 |
220 |
220 |
功率消耗， w |
50 |
1200 |
1500 |
制冷方式 |
风冷 |
水冷 |
水冷 |
工作温度＋sup>OC |
0...+40 |
0...+40 |
+10...+40 |
质保工作时间 h |
500 |
1000 |
500 |
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