ＳＩＤ４　ＵＶ－ＨＲ（紫外光）

基于相位�?*技�?/span>��?/span>190纳米�?/span>400纳米波段＋�/span>SID4 UV-HR波前分析仪（在紫外光谱范围内）具有超高的分辨玆�/span>(250 x250)和极高的灵敏�?/span>(0.5 nm RMS)。因正�/span>SID4 UV-HR是完全适应光学组件描述(用于光刻、半导体)和表面检浊�/span>(镜头＋�/span>晶片…�?

主要特点

．超高分辨率　２５�?#215;２５／�/span>

．高灵敏度　　０．５ｎｌ�/span>RMS

．大型分析孔　８．�?#215;８．０ｍｌ�/span>

.可以直接对光学器件表面进行测野�/span>

　

推荐用逓�/span>

．紫外激光器：光束的测量和校止�/span>

．光学：紫外线光学（半导体）测试和表面测量、�/span>

ＳＩＤ４　ＵＶ－ＨＲ的详细规格

ＳＩＤ４　UV-HR	单位	数据
波长范围	nm	190-400
框口尺寸	mm^2	8.0*8.0
空间解析�?/span>	Um	32
相位和强度抽栶�/span>		250*250
分辨玆�/span>	nmRMS	0.5
精密�?/span>	nmRMS	10
采集玆�/span>	fps	>30
实时处理频率	fps	1
尺寸(w*h*l)	mm	95*105*84
重量	g	900