NX-2600整片基板带对准可多层次纳米压印加高分辨率光刻系统经过了大量的实时实地验证，质量可靠，性能优越稳定。具备全部压印模式：热固化、紫外固化和压印。基于独�?*保护的Nanonex气垫软压技术（ACP），不论模版或基板背面粗糙程度如何，或是模版或基板表面波浪和弧形结构，NX-2600均可对其校正补偿从而获�?***的压印均匀性， ACP消除了基板与模版之间侧向偏移，有效地延长了模版使用寿命。通过微小热容设计可获得快速的热压印周期，*终得到快速的工艺循环、�/p>

主要特点９�/span>

所有形式的纳米压印

l热塑匕�/span>

l紫外固化

l热压与紫外压印同时进衋�/span>

l热固� 气垫软压技�?span>(ACP)

lNanonex**技�?/span>

l**的整片基板纳米压印均匀�?/span>

l高通量 低于10nm分辨� 亙�span>1微米正面对准精度 背面对准可选项 快速工艺循环时间（小于60秒） 灵活�?/span>

l4″， 6″， or 8′�/span>压印面积可逈�/span>

l各种尺寸及不规则形状模板与基板均可压�?/span>

l方便用户操作 基于超过12年�?span>15代产品开发经验的自动化压印操佛�span> Nanonex压印系统经过大量实时实地验证，质量可靠，性能优越稳定 全自动纳米压�?/span>

纳米压印系统参数

热塑压印模块

l温度范围0｝�/span>250ℂ�/span>

l加热速度>300ℂ�/span>/分钟

l制冷速度>150ℂ�/span>/分钟

l压力范围0�3.8 MPa＇�/span>550 psi�

紫外固化模块

l200W窄带紫外光源

l365纳米戕�/span>395纳米波长可�

l全自动化控制 对准模块

lX� Y� Z� Theta平台

l分场光学咋�/span>CCD相机

基板装载

l标配纳米压印系统可装轼�/span>4′�/span>基板

l6′�/span>咋�/span>8′�/span>基板可�

l各种尺寸及不规则形状模板及基板均可压�

l独特**保护ACP技术可**限度保护基板和模板，特别对于象磷化铟＇�/span>InP）等极易碎模板和基板给予**限度保护�

光刻

l标配5“�/span>模板，标酌�/span>4“�/span>直径基板

l其他尺寸可以提供

l500瓦紫外水银灯光源

应用领域９�/span>

纳米电子和光电子、显示器、数据存储介质、先进材料、生物科技、纳米流道等