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厦门韫茂科技有限公司

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双腔型高真空高速蒸镀系统

双腔型高真空高速蒸镀系统
  • 品牌9span>韫茂科技
  • 产地9span>福建
  • 关注度:1243
  • 型号9span>QBT-I
  • 报价9span class="jg_red">面议
  • 信息完整度:
核心参数
    产品介绍

    QBT-I 双腔室高真空高速蒸镀系统


    微信图片_20220223154559.jpg

    产品详情9/span>


    上下双腔,集表面处理与蒸发镀膜为一?高效可靠的Indium蒸镀助手、/span>


    技术参?/span>


    QBT-I 技术参 Technical Specifications (Indium Bump等制?
    高真空腔 HV Chamber 2个HV腔室,Loadlock离子束刻蚀及蒸镀,极限真空Ultimate Pressure<3E-8Torr
    排气速率Pumping Spead 从ATM?E-7Torr<15min (loadlock)
    极限蒸发速率 High Depostion Rate 5-12nm/s (Indium), Ф100基板镀膜均一?lt;3%, 大容量坩埙/td>
    精准的样品冷却控 Wafer Cooling -10-40 (精度±0.1(/td>
    离子束清 Ion Milling 考夫曼离子源, Ф100基板刻蚀均一?lt;3%
    人机界面 HMI 全自动化人机操作界面
    安全Safety 工业标准安全互锁Industry Safety Interlock,报警Alarm,EMO


    测试结果


    微信图片_20220223154605.jpg

    问商宵/div>

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    • 双腔型高真空高速蒸镀系统的使用方法?
    • 双腔型高真空高速蒸镀系统多少钱一台?
    • 双腔型高真空高速蒸镀系统使用的注意事顸/li>
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    • 双腔型高真空高速蒸镀系统包安装吗>/li>
    工商信息

    企业名称

    厦门韫茂科技有限公司

    企业类型

    信用代码

    91350200MA31JEYQ4Y

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    有效期限

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