韫茂科技高真空磁控溅射系统_报价-厦门韫茂科技有限公司

高真空磁控溅射系绞�/div>

品牌９�span>韫茂科技
产地９�span>福建
关注度：1298
型号９�span>PVD-100
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产品介绍

高真空磁控溅射系绞�/span>

技术参数：

1高真空腔体：2个腔�?包括负荷锁及Sputtering,极限真空，极限压�?lt;5e-9 Torr

2排气速率：从ATM�?E-7 Torr<20分钟(负载�?

3样品台：**4寸Wafer，可加热RT-300ºC

问商宵�/div>

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企业类型

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厦门韫茂科技有限公司成立�?018年，团队成员拥有丰富的薄膜沉积工艺及设备开发产业化经验。公司目前已拥有各类**技术近50项，入选国家级高新技术企业及厦门专精特新技术企业。韫茂科技专注于锂电池、光伏、Mini/Micro LED、先进光学、碳化硅、集成电路、超导材料和器件等领域薄膜沉积设备的研发与生产，目前已形成了以ALD原子层成膜系统、PVD物理气相沉积系统、CVD 化学气相系统、Epitaxy外延炉等一系列薄膜沉积设备为核心的产品矩阵。凭借在先进材料设备业务方面�

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