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厦门韫茂科技有限公司

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双腔室UHV磁控溅射镀膜系绞/p>

双腔室UHV磁控溅射镀膜系绞/div>
  • 品牌9span>韫茂科技
  • 产地9span>福建
  • 关注度:1425
  • 型号9span>QBT-P
  • 报价9span class="jg_red">面议
  • 信息完整度:
核心参数
    产品介绍

    双腔室超高真空双磁控测射系统 QBT-P


    微信图片_20220223162253.jpg

    磁控溅射技术原琅/span>

    在阴?/span>靶的表面上方形成一个正交电磁场。当溅射产生的二次电子在阴极位降区内被加速为高能电子后,并不直接飞向阳极,而是在正交电磁场作用下作来回振荡的近似摆纾/span>的运动。高能电子不断与气体分子发生碰撞并向后者转移能量,使之电离而本身变成低能电子。这些低能电?终沿磁力线漂移到阴极附近的辅助阳极而被吸收,避免高能电子对极板的强烈轰击,消除了二?/span>溅射中极板被轰击加热和被电子辐照引起的损伤,体现出磁控溅射中极板“低温”的特点。由于外加磁场的存在,电子的复杂运动增加了电离率,实现了高速溅射、/span>


    磁控溅射技术特炸/span>

    成膜速率高,基片温度低,膜的粘附性好,可实现大面?/span>镀膛/span>


    微信图片_20220223162304.jpg


    技术参?/span>

    QBT-P 技术参 Technical Specifications (超导Ta/TiN/NbN/Al/Nb等制备)
    超高真空腔体 UHV Chamber 2个UHV Chamber,包括Loadlock及Sputtering, 极限真空Ultimate Pressure<3E-9Torr
    排气速率Pumping Spead 从ATM?E-7Torr<20min (loadlock)
    基板加热 Wafer Heating RT-900oC
    离子束清 Ion Milling 考夫曼离子源, Ion Energy 100-600eV, 100-1200eV; Ion Beam Current:20-200mA, Ф100基板刻蚀均一?lt;3%
    磁控溅射Sputtering DC or RF Power Supply, 基板与靶材距离连续可调Wafer and Target Space can Change Continoulsly
    基板传输 Wafer Transfer 高度可靠和可重复的基板传输能劚/td>
    人机界面 HMI 全自动化人机操作界面
    安全Safety 工业标准安全互锁Industry Safety Interlock,报警Alarm,EMO


    工艺展示


    微信图片_20220223162258.jpg


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    工商信息

    企业名称

    厦门韫茂科技有限公司

    企业类型

    信用代码

    91350200MA31JEYQ4Y

    法人代表

    注册地址

    成立日期

    注册资本

    有效期限

    经营范围

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    厦门韫茂科技有限公司成立?018年,团队成员拥有丰富的薄膜沉积工艺及设备开发产业化经验。公司目前已拥有各类**技术近50项,入选国家级高新技术企业及厦门专精特新技术企业。韫茂科技专注于锂电池、光伏、Mini/Micro LED、先进光学、碳化硅、集成电路、超导材料和器件等领域薄膜沉积设备的研发与生产,目前已形成了以ALD原子层成膜系统、PVD物理气相沉积系统、CVD 化学气相系统、Epitaxy外延炉等一系列薄膜沉积设备为核心的产品矩阵。凭借在先进材料设备业务方面

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