厦门韫茂科技有限公司
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超高真空双倾角室蒸发设夆/strong>
技术参 9/span>
1、UHV超高真空腔体?腔室,负荷锁和蒸发,负荷锁极限真?nbsp;极限压力<1E-8 Torr,可加热RT-900ºC
2、蒸发腔:极限真?nbsp;极限压力<3e-9 Torr
3、高分辨率镀膜速率显示及控 :?.015,?00mm镀膜均一?lt;3%
4、基板操控能力:可实?80度倾斜?60度旋转,0.1度的精准控制,加热RT-600ºC
5、传 :全自动样品传输
企业名称
厦门韫茂科技有限公司企业类型
信用代码
91350200MA31JEYQ4Y法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围