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超高真空多腔体磁控溅射系绞/p>

超高真空多腔体磁控溅射系绞/div>
  • 品牌9span>韫茂科技
  • 产地9span>福建
  • 关注度:2311
  • 型号9span>QBT-MP
  • 报价9span class="jg_red">面议
  • 信息完整度:
核心参数
    产品介绍

    超高真空多腔体磁控溅射系绞/span>

    556.png

    技术参数:


    基板:可加热至RT-900ºC,可旋转,基板与靶材距离连续可调,晶圆和靶空间可以连续变匕/span>

    极限真空?lt;3E-9Torr

    基板传输:高度可靠和可重复的基板传输能力



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    工商信息

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    厦门韫茂科技有限公司

    企业类型

    信用代码

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    厦门韫茂科技有限公司成立?018年,团队成员拥有丰富的薄膜沉积工艺及设备开发产业化经验。公司目前已拥有各类**技术近50项,入选国家级高新技术企业及厦门专精特新技术企业。韫茂科技专注于锂电池、光伏、Mini/Micro LED、先进光学、碳化硅、集成电路、超导材料和器件等领域薄膜沉积设备的研发与生产,目前已形成了以ALD原子层成膜系统、PVD物理气相沉积系统、CVD 化学气相系统、Epitaxy外延炉等一系列薄膜沉积设备为核心的产品矩阵。凭借在先进材料设备业务方面

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