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厦门韫茂科技有限公司

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单腔型高真空蒸镀系统

单腔型高真空蒸镀系统
  • 品牌9span>韫茂科技
  • 产地9span>福建
  • 关注度:2139
  • 型号9span>QBT-L
  • 报价9span class="jg_red">面议
  • 信息完整度:
核心参数
    产品介绍

    单腔型高真空蒸镀系统

    116.png

    产品详情9/span>

    单腔设计,紧凑经济,轻松拥有高质量镀膜系统、/span>

    技术参数:

    1极限真空?lt;2E-7Torr

    2排气速率:从ATM?E-6Torr<15min

    3基板加热 :RT-300ºC

    4高分辨率镀膜速率显示及控制:±0.015Å

    5**基板尺寸?00mm

    6前后门设计可集成手套箱:可选配手套箰/span>

    7人机界面:自动化人机操作界面

    8安全:全工业标准安全互锁,工业安全联锁,报警装置

    厦门韫茂科技有限公司凭借在先进材料设备业务方面多年的经验,韫茂为新型芯片,半导体和锂电池领域的新材料开发和生产,提?**的纳米工艺设备和服务解决方案。根据您的特殊需求,我们为您定制打造创新纳米加工平台,保证高品质的设计,多功能,易于使用的界面,严格的安全控制,以及快速的交付和服务、/span>

    问商宵/div>

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    工商信息

    企业名称

    厦门韫茂科技有限公司

    企业类型

    信用代码

    91350200MA31JEYQ4Y

    法人代表

    注册地址

    成立日期

    注册资本

    有效期限

    经营范围

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    厦门韫茂科技有限公司成立?018年,团队成员拥有丰富的薄膜沉积工艺及设备开发产业化经验。公司目前已拥有各类**技术近50项,入选国家级高新技术企业及厦门专精特新技术企业。韫茂科技专注于锂电池、光伏、Mini/Micro LED、先进光学、碳化硅、集成电路、超导材料和器件等领域薄膜沉积设备的研发与生产,目前已形成了以ALD原子层成膜系统、PVD物理气相沉积系统、CVD 化学气相系统、Epitaxy外延炉等一系列薄膜沉积设备为核心的产品矩阵。凭借在先进材料设备业务方面

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