
厦门韫茂科技有限公司
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公斤级粉末原子层沉积镀膜系绞/span>
详情介绍9/strong>
KG 系列粉末ALD包覆设备可用于电池、催化剂、磁性材料等材料的高精度包覆量产、/p>
该系统能够包覆原子层级到纳米层级的范围内的厚度,具有超高灵敏度、均一性和重复性, 并具有高自动化程度,操作方便、扩展灵活、/p>
技术参数:
均一 < 3%
工艺温度 RT-300ℂ/p>
极限压力 < 500mTorr
罐体容积?0L,百公斤级别/批次
企业名称
厦门韫茂科技有限公司企业类型
信用代码
91350200MA31JEYQ4Y法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围