公司介绍
厦门韫茂科技有限公司成立?018年，团队成员拥有丰富的薄膜沉积工艺及设备开发产业化经验。公司目前已拥有各类**技术近50项，入选国家级高新技术企业及厦门专精特新技术企业。韫茂科技专注于锂电池、光伏、Mini/Micro LED、先进光学、碳化硅、集成电路、超导材料和器件等领域薄膜沉积设备的研发与生产，目前已形成了以ALD原子层成膜系统、PVD物理气相沉积系统、CVD 化学气相系统、Epitaxy外延炉等一系列薄膜沉积设备为核心的产品矩阵。凭借在先进材料设备业务方面多年的经验，韫茂科技为泛半导体、新能源新材料领域开发和生产，提供最先进的纳米工艺设备和服务解决方案。根据您的特殊需求，我们为您定制
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QBT-I双腔室高真空高速蒸镀系统产品详情：上下双?集表面处理与蒸发镀膜为一?高效可靠的Indium蒸镀助手。技术参数QBT-I技术参数TechnicalSpecifications(IndiumBump等制?高真空腔体HVChamber2个HV腔室，Loadlock离子束刻蚀及蒸镀，极限真空UltimatePressure<3E-8Torr排气速率PumpingSpead从ATM?E-7Torr<15min(loadlock)极限蒸发速率HighDepostionRate5-12nm/s(Indium),Ф100基板镀膜均一?lt;3%,大容量坩埚精准的样品冷却控制Wa
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