中央真空系统按用泵类型分为“油泵系统”，“干泵系统”、�/span>

按用泵数量分为“单级型”，“双级型”、�/span>

中央真空系统一般由真空泵、PLC程序控制系统、储气罐、真空管道、真空阀门、境外过滤总成等组成的成套真空系统，实现对真空系统、工件行走、磁控靶、工艺设定和执行、报警保护系统等的全自动化控制、�/span>