飞秒激光器FX-系列

��光束质量９�/span> M2 < 1.5

��脉冲能量辽�/span> 100��J

��脉宽600fs

��峰值功率达160MW

��脉冲重复频率辽�/span> 50MHz

��平均功率辽�/span> 200W

��波长1030� 515� 343nm

飞秒激光器FX-系列参数

型号	FXxxx-1	FXxxx-2	FXxxx-3
波长（nm（�/span>	1030	515	343
光束质量M2	1.1	1.1	1.5
**平均功率（W（�/span>	200	100	30
**重频频率（MHz（�/span>	50	50	50
**单脉冲能量（uJ（�/span>	100	50	15
*小脉宽（fs（�/span>	600	600	600
能量稳定性（%）rms	2	3	3
偏振毓�/span>	>100:1	>100:1	>100:1
光斑椭圆度（远场）[%]	<10	<10	<10
光斑直径（mm（�/span>	3	3	3
发散角（全角�?#956;rad（�/span>	500	250	226
预热时间（min（�/span>	15	20	30

飞秒激光器FX-系列主要应用市场９�/span>

��光伏产业，如:硅晶园的划片、打孔和切割；薄膜太阳能电池和晶硅太阳能电池导电层和绝缘层的烧蚀

��印刷工业，如: 印刷轮雕片�/span>

��显示领域，如: 构造导电层，横向连续硅结晶

��电子行业，如: 印刷电路板的钻孔和切剱�/span>

��汽车行业，如: 燃油喷射阀门的制速�/span>

��工具制造和机械工程，如: 三维快速成垊�/span>