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单纵模紫外纳秒固体激光器IXION-193
IXION-193是单频二极管泵浦全固态激光器。用于光学计量、高功率ArF准分子激光器的带宽控制和193nm波长的步进校准。光谱带宽接近理论傅立叶变换极限。中心波长以0.01nm的精确度?90nm?94nm范围可选。系统可选内置高精度光谱仪，精确度可?pm以保证对激光器调谐?*控制、/span>
单纵模紫外纳秒固体激光器IXION-193典型参数
叶/span> |
IXION-193 SLM |
镾/span> |
193.368 nm |
平均功率 |
>10 mW |
宼/span> |
< 10 ns |
脉冲能量 |
>1.6 J |
重复频率 |
6 kHz |
M2因子 |
< 1.6 |
宼/span> |
<120MHz;0.015pm;0.004cm-1 |
调谐范围 |
>80GHz;10pm;2.6cm-1 |
相干长度 |
>1 m |
单纵模紫外纳秒固体激光器IXION-193特点工业级的频率转换，密封封裄/span>插槽安装激光二极管泵浦优异的TEM00光束形貌脉冲到脉冲之间波动小免维护与热电温控管理LabVIEW驱动内置光谱仪用于波长实时控刵/span>单纵模紫外纳秒固体激光器IXION-193应用193 nm波长讠/span>野/span>光谱仪校凅/span>干涉测量准分子激光器的种子注?/span>脉冲宽度光谱带宽长时间功率稳定?/span>光束质量
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