RGA系列残余气体分析�?/span>

可以定量和定性分析出真空腔中残余气体的浓度和成分、�/span>

RGA系列残余气体分析仪特炸�/span>

◆�/span>100＋�/span>200，和300amu◇优亍�/span>1amu的分辨率◆�/span>6个量级的动态范図�/span>◇可检浊�/span>5 x 10^-14Torr

◇实旵�/span>RGA Windows咋�/span>LabVIEW软件◇质谱，泄漏检测和压力对时间方弎�/span>◇现场可更换的电子倍增器和灯丝◆�/span>RS232计算机接叢�/span>

RGA系列残余气体分析仪选型�?/strong>

残余气体分析仪（RGA）划分为100�?/span>200�?/span>300amu三种型号，其优异的性能使其成为真空分析仪中**产品。每一�?/span>RGA系统都由一个四级杆探针和电子控制单元组成，实时分析windows软件包可以更方便用于数据采集和分析，并可进行远程控制、�/span>

探测器类垊�/span>标准法拉第杯(FC)�可选电子倍增(EM)分辨玆�/span>优于0.5amu灵敏�?/span>(A/Torr) 2 �� 10^?4(FC)� <200 (EM).探测极限5 �� 10^?11Torr(FC)＋�/span>5 �� 10^?14Torr(EM)测试范围10^?4Torr to UHV (FC)10^?6Torr to UHV(EM)操作温度70 ��C (max.)工作温度300 ��C (without ECU)