劳厄单晶取向测试系统９�/span>

• 背散射劳厄测试系统，实时确定晶体方向，精度高�?.1度；

• PSEL 软件定向误差低至 0.05度；

• 多晶硅片二维定向mapping：�/span>

• 大批量样品筛选；

• �?0kg重负荷样品定佌�/span>

水平放置系统

特征	优点
<200um 光束尺寸	可测量小 晶体
电动位移�?/span>	可沿生长轴轴向扫揎�/span>
电动角位秺�/span>	与同步加速器/中子设备直接兼容
手动角位秺�/span>	与切割刀具直接兼宸�/span>

垂直放置系统

特征	优点
<200um 光斑	适用于小晶粒的多晶结枃�/span>
大范围电动线性扫描位移台	允许自动晶圆mapping或多个样�?/span>
电动Z 轴驱�?/span>	适用大尺寸晶棒或样品
手动角位秺�/span>	允许定位�?/- 0.02度精�?/span>

配备PSEL CCD背反射劳厄X-RAY探测�?/strong>９�/span>

• 有效输入探测面约� 155*105 mm

• *小输入有效像素尺�?3um�?867*1265 像素阵列

• 可选曝光时间从1ms �?5分钟

• 芯片上像素叠加允许以牺牲分辨率为代价增强灵敏�?/span>

• 自动背景扣除模式

• 16位高精度采集模式

• 12位快速预览模弎�/span>

• PSEL 劳厄影像采集处理专业软件

劳厄影像校准软件９�/strong>

• 自动检测衍射斑点，并根据参考晶体计算斑点位置；

• 根据测角仪和晶体轴自动计算定向误�?不需要手动拟合扭曲的图形)

• 以CSV格式保存角度测量值，以进一步保证质量的可追溯性；

• 顶部到底部的终端用户菜单，允许资深结晶学用户自行逐步确认定位程序：�/span>

• 基于Python的软件，允许使用套接字命令对现有软件/系统进行远程访问控制：�/span>

系统附件包括９�/span>

• 劳厄X-RAY 探测�?/span>

• 劳厄校准软件

• 高亮度X-RAY 发生�?/span>

• 电动/手动 角位移台& 高精度位移台：�/span>

• 样本定位/视频监控 摄像头；

• 激光距离传感器/操纵杅�/span>

典型劳厄衍射应用图样９�/span>

劳厄单晶取向测试系统应用方向９�/strong>

• 探测器材料： HgCdTe/CdTe� InGaAs� InSb;

• 窗口玻璃材料&压电/铁电陶瓷� Al2O3� Quantz，LiNbO3

• 金属合金� 钨，钼，镍基合金：�/span>

• 激光晶体材料： YAG� KTP� GaAs

• 薄膜/半导体基地材料： AIN� InP SiC;

• 磁�?超导材料: BCO/BSCCO/HBCCO� FeSe� NbSn/NbTi

• 闪烁体材料： BGO/LYSO� CdWO4� BaF2/CaF2;