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产品分类
半导体行业专用仪?/a>
光学仪器及设夆/a>
制样/消解设备
气体等离子系统IoN Wave 10
等离子清洗系统PS 400, PS 400 H2
等离子清洗系统GIGA 690
等离子清洗系统GIGA 80 Plus
纳米压印模板
纳米压印模板
反应式离子蚀刻机
反应式离子蚀刻机
电子测量仪器
测量/计量仪器
自动光学检测系?AOI) - Supra Era系列
自动光学检测系统Falcon 800
光谱检测分析仪
其他
合成/反应设备
电化学仪?/a>
产品简今/div>
美国OAI成立至今已有35年历史,在光源制造和测量方面一直处?***领域、/p>
OAI光源以工作稳定,出光效率高,高均匀性和散射角小著称。且可提?0inch以上的大面积光源 OAI光功率计在工业上有广泛应用,包括NIKON,CANON,ASM等知同strong>光刻朹/strong>制造商均使用OAI光功率计、/p>
OAI也生?strong>光刻朹/strong>,尤其是OAI MODEL 800系列双面曝光机,在世界范围内有着非常广泛的应用、/p>
OAI MODEL 800MBA
双面对准曝光朹/p>
曝光模式 接近、软/硬接触、真空接?/p>
掩膜尺寸**9"x9"
**适合200mm晶圆曝光
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