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产品简今/div>
美国OAI成立至今已有35年历史,在光源制造和测量方面一直处?***领域、/p>
OAI光源以工作稳定,出光效率高,高均匀性和散射角小著称。且可提?0inch以上的大面积光源 OAI光功率计在工业上有广泛应用,包括NIKON,CANON,ASM等知同strong>光刻朹/strong>制造商均使用OAI光功率计、/p>
OAI也生?strong>光刻朹/strong>,尤其是OAI MODEL 800系列双面曝光机,在世界范围内有着非常广泛的应用、/p>
OAI MODEL 800MBA
双面对准曝光朹/p>
曝光模式 接近、软/硬接触、真空接?/p>
掩膜尺寸**9"x9"
**适合200mm晶圆曝光
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