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半导体行业专用仪?/a>
光学仪器及设夆/a>
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电子测量仪器
测量/计量仪器
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DJ MicroLaminates成立于二零零九年，以销售电子光刻胶材料技术，并提供产品开发，工艺开发服务和市场开发活动。由DJ MicroLaminates开发的产品有针对性的技术，以满足先进的MEMS制造和晶圆级封装的需求、/span>
DJ MicroLaminates目前开发的光刻胶干膛/span>(TDFS)，是层压板预切晶圆或基板尺寸、/span>
SUEX TDFS
是感光厚环氧树脂片，应用于晶圆级封装和MEMS。该片材由两个被剥离的聚酯薄膜保护层（PET）中间包含的阳离孏/span>固化改性环氧树脂的光阻构成。环氧树脂的光阻中含有无锑的光酸生成剂，并在一个严格控制的无溶剂的过程中制备，它能提供均已的涂层。该方法应用于负性光阻的开发，该种光阻对在350-400nm的范围内的紫外线辐射敏感、/span>
DJ MicroLaminates提供的产品是SUEX SUEX Plus＋/font>以及ADEX系列的环氧树脂负性光刻胶干膜，厚度范围在5微米至超迆/font>1mm内。干膜很容易层压在基板表面，并可在几分钟内预备使用、/font>
SUEX适合并且与以下物质有良好的粘合性：硅，氮化硅，铜，金，玻璃，聚合物和其它金属和氧化物、/span>
标准厚度９/span>
100um?50um?00um?50um?50um?00um?50um?50um?mm
一般储存温度：
使用之前，应?1℃至25℃温度中存放15-18小时，这样为**效果，并易于加工、/span>
SUEX/SUEX Plus/ADEX干膜光刻胵/strong>
1）总处理时间：小于5分钟
2?*的厚度均匀性，边缘无光
3）高热稳定?高韧?/span>
4）无锑化学环境，无材料浪贸/span>
选择干膜的优劾/span>
1）无需昂贵的匀胶和烘胶设备
2）对Fab环境要求较低
3）整片晶圆上厚度均匀
4）无需去边工艺
5?00%平坦化（真空压膜（/span>
6）胶膜内部成份分布均匀
7）适合UV和X射线曝光
8）高透过玆/span>
9）生产过程中减少了溶剂使?/span>
10）绿色环俜/span>
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