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半导体行业专用仪?/a>
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FERGIE是一套高集成、零像差的光谱仪系统?/span>
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优势9/span>
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精确方便校准
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精准时序同步
高速瞬态采雅/span>
标准300mm焦长C-T光谱仪与FERGIE光学设计的光谱数据对比、/span>
FERGIE采集的汞灯谱线,在整个探测器范围内均无任何光学像差、/span>
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