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产品分类
半导体行业专用仪?/a>
光学仪器及设夆/a>
制样/消解设备
气体等离子系统IoN Wave 10
等离子清洗系统PS 400, PS 400 H2
等离子清洗系统GIGA 690
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反应式离子蚀刻机
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电子测量仪器
测量/计量仪器
自动光学检测系?AOI) - Supra Era系列
自动光学检测系统Falcon 800
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其他
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激光开盖机
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X射线仪器
比表面积测定?/a>
产品简今/div>
Veeco(之前称之为Cambridge Nanotech)已经?5年以上的ALD研发生产经验?003年Cambridge Nanotech成立于哈佛大学,05年搬到Boston并生产出Thermal ALD - Savannah 之后生产出Plasam ALD - Fuji、批量生产ALD-Phoenix?017年被Veeco收购,并更新了Batch HVM ALD - Firebird。至今为止,Veeco在ALD设备已有15年多的经验,全球已安装五百多台ALD设备
方式: Thermal batch ALD
优势:完全自动化的批量生产系统?强生产能力(每月*?0000片),成本低,产量高,极优的一致性针对脆?温度敏感的衬底解决方案,包括LNO/LTO/玻璃模块化热管理,以实现*强工艺灵活性和产量
薄膜: 氧化物薄膜,包含封装层、光学涂层氧化物薄膜,包含封装层、光学涂屁/span>
反应腔体大小: 无缝晶片尺寸转换能力高达300mm
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