产品特�?/p>

结构紧凑，占地面积小

良好的真空气密性，确保稳定的清洗效枛�/p>

平行/方格电极板方式，可以调整间距适应清洗工件的大導�/p>

人性化操作界面，易操作和保养维抣�/p>

性能可靠，良好的互锁、故障报警和实时监控功能

腔体后端安装有屏蔽系统，避免电磁辐射

工艺选择性去除污染物

可同时存储多组配方，调用即可

全过程工艺可控，可在线设置、修改、监控各种工艺参�?/p>

可选自动门方式，方便后续自动化连线需汁�/p>

产品参数

产品型号	AW-P100	AW-P135
外形尺寸	L1000×W950×H1950(mm)(含报警灯�?	L1200×W1350×H1950(mm)(含报警灯�?
腔体尺寸	L500×W500×H400(mm),不锈�?航空铜�/td>	L600×W500×H450(mm)
电极规格	平行式电极，多层，单层有效面�?50(L)×450(W)mm	九宫格式多层电极
真空系统	真空油泵(可选配干泵)	罗茨泵组
等离子体发生�?/td>	频率13 . 56MHz,功率0 - 600W/1000W可调，自动阻抗匹酌�/td>
气路系统	标准配置2路，质量流量计控制，气体流量0-200ml/min可调，不锈钢抛光气体管路及接口组仵�/td>
控制系统	触摸�?PLC全自动控制，手动+自动两种操作模式(可选配工控机，实现MES系统连接)
备注	可按客户需求弹性设讠�/td>