AW-ZMP系列在线式微波等离子清洗朹�/p>

产品特�?/p>

对气体分子有较高的电离和分解程度，离子密度均匀

高压源和等离子体发生器互相隔离，安全因素髗�/p>

人性化操作界面，易操作和保养维抣�/p>

性能可靠，良好的互锁、故障报警和实时监控功能

腔体后端安装有屏蔽系统，避免电磁辐射工艺选择性去除污染物

没有内部电极，在等离子腔体内没有工作气体以外的任何物质污染源

片式微波清洗、清洗效果更均匀、更柔和，没有ESD烦扰

产品参数

外形尺寸(不含报警灯塔)	L1600×W1100×H1650(mm)
腔体尺寸	L550×W320×H70(mm)
等离子体发生�?/td>	频率2 . 45GHz、功�?100�?000)W
兼容料片尺寸	�?50 - 260 ( mm ) �?0 - 80 ( mm )
真空系统	油泵/干泵可选，进口气动角阀、充气阀，高精度真空讠�/td>
气路系统	MFC质量流量计控制，气体流量0-200ml/min可调，不锈钢抛光气体管路及接口组仵�/td>
控制系统	触摸�?PLC全自动控制，手动+自动两种操作模式(可选配工控机，实现MES系统连接)
备注	可按客户需求弹性设讠�/td>