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产品分类
清洗/消毒设备
AW-P00X系列腔体射频等离子清洗机
其它辅助设备
真空炈/a>
产品简今/div>
产品特?/span>
清洗时间短,无溅射损伤和高温损伤
完善的故障报警功能,提示故障项目和故障工位,便于维修
可实现MES系统传输(选配)
设备参数分级管理,提高操作安全?/span>
屏幕动画显示全线工作状态,运行过程实时监控
主要针对引线框架特性,配备自动取片、传输、送片等辅助功胼/span>
巧妙结构设计,解决来料料片软硬度不一致导致的传输卡料损坏问题
自动组件转换,可兼容不同来料片的清洗
高自动化,可实现同侧进出或左进右出洗料,减少人为因素影响+/span>
在便于跟踪洗料效果的同时降低二次污染
产品参数
产品型号 | AW-ZP04 | AW-ZP04A |
外形尺寸(含报警灯? | L1700×W1100×H1950(mm) |
|
反应仓尺?铝合? | L550×W320×H65(mm) |
L450×W350×H50(mm) |
等离子体发生?/td> | 频率13.56MHz,功率0-600W/1000W可调,自动阻抗匹酌/td> | |
气路系统 | 制程气体(O?Ar/H?,MFC质量流量计控制,气体流量0-200ml/min可调 | |
控制系统 | 触摸?PLC全自动控制,手动+自动两种操作模式(可选配工控机,实现MES系统连接) | |
兼容料片尺寸 | ?50-300(mm),?0-100(mm) | ?05-155(mm),?0-80(mm) |
清洗效率 | 4?片,UPH大于500?小时 | 4?片,UPH?00?小时 |
针对产品工艺 | 集成电路IC封装工艺 | LED封装工艺 |
备注 | 可按客户需求弹性设讠/td> |
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