铂世光W-150A/B-6K 微波等离子化学气相沉积系统_报价-上海铂世光半导体科技有限公司

铂世先�/a>

产品简今�/div>

系统特点９�/span>

·采用方位换向对称方式微波耦合，来提高微波的均匀�?/span>

·稳定沉积面积20cm²

·**功率达到6KW

·使用纯净的石英窗

·采用不锈钢反应腔，能耐高�?/span>

设备的优势：

·反应可控，能长时间稳定工作在6KW

·所有电子设备中采用微波，没有电极放电，没有金属污染

·高功率高密度等离子体稳定在离石英窗一定位置，减少硅的析出

·参照C/H/O比例表，对反应物有更大的选择余地

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上海铂世光半导体科技有限公司官方展台田�a href="//www.znpla.com/worldiray/">中国粉体罐�/a>设计制作，工商信息已核实、�br /> 公司地址：上海市青浦区新科路303号B1
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