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半导体行业专用仪?/a>
激活退火设 Ailesic-1500
溅射设备 SRH-420
溅射设备 SME-200J
光阻去除设备 NA-8000
激活退火设 Ailesic-2000
碳膜溅射设备 CS-200
高还原性低温热压键合设 FATB
高还原性低温热压对准键合设 MAFP
MIST-CVD氧化物薄膜沉积设 M150A
全自动晶片减薄机SGM-9100
粉体焙烧炈/a>
高温氧化 HT-RTP-4000
高温退火炉 PFS-4000
其他
碳膜去除设备 NE-550EX
C2W低温热压键合设备 SAFP
比表面积测定?/a>
飞行时间二次离子质谱 TOF-SIMS
定制加工仵/a>
氧化镓单晶外延片
X射线仪器
多功能扫描X射线光电子能谱仪 XPS
恒温/加热/干燥设备
蒸发设备 Ei-5
切割朹/a>
桌上型精密切割机MPC-200e
磨抛朹/a>
中型高速研磨设 STC-610
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