狭缝式涂?Slot Die Coating)是一种高精密的涂布方式，不仅用于光学?增亮膜、hardcoat、偏光膜、扩散膜?、OLED涂布等，还可以用亍strong>有机太阳能电池OPV和钙钛矿太阳能电池PVK等成卷基材的涂布，也应用于非连续基材如LCD玻璃基板光阻涂布、/span>
狭缝涂布技术适用于各种涂布液，可广泛应用于不同基材表面的涂布，如玻璃，不锈钢和塑料基牆/p>
涂布模具相对于基片高精度地运动，并高精度检测控制工艺流体及其涂布速度、/p>
优势
可涂布不同粘度的各种材料
涂布厚度范围广泛:仍span>20nm?span>150m以上
很好的涂布一致?span>:通常优于3%
效率髗span>/材料利用率高:材料利用率可辽span>95%
能够满足不同需求：从研发到小批量试制、大量生?/p>
工艺具有高的可靠性和鲁棒?span>:良率可达?span>95%
适用亍span>S2S咋span>R2R加工模式
在一个工艺周期内可实现矩形阵列的涂布加工
过程参数
涂布间隙控制：高精度，动态控制涂布头高度(z轳span>)
模具运动控制:在涂布方向上(x轳span>)精确控制模具的运动轨迸span>(包括加速和减速参?span>)
模具设计:针对高一致性、化学兼容性、低充填容量 条状涂布进行模具设计制速/p>
涂布控制:涂布速率(稳态涂市span>)和涂布轮廒span> (前后边缘)的高精度数字化控刵/p>
控制软件:所有配方参数，数据监控和反馈控制，数据采集分析、/p>
应用领域
平板显示
LCD OLED Flexible Touch Screen
LCD OLED柔性显礹span>触摸屎/p>
太阳能光伎/p>
PV including CIGS CdTe OPV and C-Si
固态照昍/p>
OLED lighting
高附加值玻璂/p>
可调光智能玻璂span>博物馆用玻璃
半导佒span>微机电系绞span>无线射频识别聚合物电江span> 各种月/p>
机及打印电子器件
