德国Phsytech深能级瞬态谱 DLTS
我们?span>1990年推出了首台数字DLTS，随着电脑技术的发展，使得在短时间内进行复杂计算成为可能。在纯指数发射过程模型的基础上，用各种数学模型分析测量到的瞬态过程，如傅里叶转换、拉普拉斯转换、多指数瞬态拟合?span>ITS（等温瞬态光谱）信号重叠法、温度扫描信号重叠法（重折叠）。与其他系统相比＋span>HERA-DLTS具有无法比拟的能量分辨率、/span>
特点
l自动接触检?/span>
l常规测试和加强软仵/span>
l自动电容补偿
l三终?span>FET电流瞬态测野/span>
l大电容和浓度范围
l灵活性高、模块化硬件
l支持各种冷却仓和温度控制?/span>
l傅里叶转换（F-DLTS），比例窗口和用户自定义校正功能
lDLTFS（深层瞬态傅里叶光谱仪）评价
l直接测量发射瞬?/span>
l使用28个不同的相关功能（软件）通过一次温度扫描，给出28个温度扫描信叶/span>
操作模式
lC-DLTS(电容模式)
lCC-DLTS(定电容模弎span>)
lI-DLTS＇/span>电流模式（/span>
lDD-DLTS＇/span>双关联模式）
lZerbst-DLTS
lO-DLTS＇/span>光激发模弎/span>（/span>
lFET-Analysis
lMOS-Analysis
lITS（等温瞬态光谱仪（/span>
l缺陷分析
l俘获截面测量
lI/V I/V(T)查理?span>Plot分析
lC/V C/V(T)
lTSC/TSCAP
lPITS（光子诱导瞬态谱（/span>
lDLOS(特殊系统)
