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立体开启式加热炈/strong>
用途:
适用于CVD工艺或其他热处理工艺;如ZNO纳米结构可控生长、氮化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等
特点9/span>
☄/span>采用高级耐火纤维材料,隔热好、升温快、蓄热少、节能,炉体表面温度?0ℂ/span>
☄/span>取放物料方便快捷,只需一支卡箍便可完成密封,简化法兰安装过程,减少了炉管因安装造成损坏的可胼/span>
☄/span>微电脑控制,可编制升温曲线,自动升温、保温、降温与控制升温速率。具有P.I.D调节自整定、自学习功能
☄/span>配置超温、传感器故障等多种逻辑保护功能,安全可靟/span>
☄/span>可根据客户需求升级配置计算机监控系统,实?00%仪表功能操作,并以曲线及数据表格形式记录存储实时温度曲线、历史温度曲线及报警记录参数
☄/span>炉体开启式结构,炉膛可向后翻转110度,易于取放工作箠/span>
☄/span>易磨损部位采用硬化技术处理,使炉材经久耐用
☄/span>炉管两端装配不锈钢双环密封法兰,保障炉管的气密性、保证真空以及气氛环墂/span>
☄/span>炉管卡箍式法兰接口,安装、取放物料方便快捷,安全、密?/span>
☄/span>可选择真空或气氛保护等试验环境
技术参数:
型号 |
VKLG-12 |
电源 |
220 V (50 Hz) |
额定功率 |
2KW |
温度范围 |
室温-1200ℂ/span> |
恒温精度 |
?#177;1ℂ/span> |
热电偵/span> |
K分度 |
加热匹/span> |
300mm |
恒温匹/span> |
150mm |
炉膛尺寸 |
40300mm |
加热元件 |
高温电阻东/span> |
*快升温速度 |
30ℂ/span>/分钟 |
宇电仪表控制 |
可编30段程序控?/span> |
时间设定 |
0}/span>9999分钟 |
炉膛材质 |
陶瓷纤维 |
炉壳材质 |
冷轧钢板静电喷涂 |
炉管材质 |
石英 |
真空?/span> |
用机械泵10-2torr用分子泵10-2torr |
整体外形尺寸 |
380(深?#215;530(宽?#215;800(高(/span>mm |
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