反应烧结碳化硅悬臂奖,是半导体晶圆装载系统的关键部位。悬臂桨性能稳定,在高温环境下不变形,晶圆装载量大,适用于机器人自动装载和搬运系统。由于悬臂奖截面稳定不变形,使得利用现有的炉管制备更大规格晶圆成为可能、/p>
悬臂桨与LPCVD涂层的热膨胀系数相近,应用于LPCVD极大地延长了维护清洗周期,并大幅减少污染物、/p>