生长台尺寸：φ70mm 可同时生�?mm*7mm单晶45粑�/p>

10mm*10mm单晶21粑�/p>

控制方式：触摸屏控制，PLC工艺菜单运行（手动或自动（�/p>

微波电源�?nbsp;MUEGGE 6KW 2.45GHz

真空泵：Leybold D16C / KYKY RV-4三相旋片泴�/p>