生长台尺寸：φ100mm

控制方式：触摸屏控制，PLC工艺菜单运行（手动或自动（�/p>

微波电源�?nbsp;MUEGGE 10KW 2.45GHz

真空泵：Leybold D16C / KYKY RV-4三相旋片泴�/p>

流量计：日本KOFLOC

H2�?000sccm� 、CH4(50sccm)、O2(10sccm)、N2�?0sccm（�/p>

腔体冷却方式：水冶�/p>

测温：红外测温仪300-1400ℂ�/p>

机台尺寸�?215mm（长�?1114mm（宽�?2000mm（高（�/p>

供电�?80V 三相五线

能耗：16kw