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光学仪器及设夆/a>
恒温/加热/干燥设备
半导体行业专用仪?/a>
仪器简介:
英国TE成立?991年,是一家世界知名真空加热部件及加热设备供应商,专注于提供真空环境下的全方位加热解决斸/span>案,产品涉及真空加热台,真空高温炉等设备。目前客户遍及世界知名科研院所及知名企业、/span>
英国TE公司2000C系列真空高温炉可在高真空或保护气体下工作?*温度可达3000℃,加热区为石墨材料或者钨加热区,**真空度可?*10-8mbar,操作简单,性能稳定,仪器自带报警功能能够保证操作的安全性,同时可提供各种不同配?/span>的仪器与定制模块,以满足客户不同的需求,适用于各类实验室应用及小规模生产、/span>
产品特色9/span>
1?*温度:真空环境下可达2100℃,保护气氛环境下可?600℃(钨)甚至更高3000℃(石墨);
2、极高的温度均匀性:小于2%:/span>
3、操作简单,几乎全自动操作,底部泵浦,底部抽运,顶部进料:/span>
4、高真空度:**?*10-8mbar:/span>
5、采用石墨或钨材料进行加热;
6、升温快:大?00?min:/span>
7、真空腔压力自动控制:/span>
8、气体压力控制精度高:<0.5bar
9、自动报警系统,可实时显示工作状态;
10、自动抽运以清除氧气(有氧气的情况下?00℃以上会损坏加热台):/span>
11、极高的安全性:电子锁锁死系统可保证操作的安全性;
12、采用四轮机械设计,移动方便:/span>
13、采用钨进行加热时退火气体可以为氢气、/span>
技术参数:
1、温度:标准仪器温度?100℃,2600℃?000摄氏度可逈/span>
2、真空度参数9/span>
2*10-7MPa(采用Edwards RV 8机械?
5*10-11MPa (采用扩散?
5*10-12MPa (采用Edwards Turbopump EXT75DX涡轮?
3、真空接口:ISO63或者KF25标准接口;
4、加热速度:大?00?min,请参考下图:
5、压力控制精度:?.5bar
6、分类与尺寸9/span>
分类 |
功/span>热区尺寸(mm) |
炉膛尺寸'/span>mm(/span> |
中型坩埚真空高温炈/span> |
60.5*75 |
305*500 |
大尺寸坩埚真空高温炉 |
150*75 |
380*500 |
超大尺寸坩埚炈/span> |
180*140 |
420*520 |
整体加热退火炉 |
100*50 |
420*317 |
小型真空平炉 |
100*50 |
420*317 |
中型真空平炉 |
150*150 |
420*317 |
大尺寸真空平炈/span> |
200*200 |
420*317 |
设备组成9/span>
1、炉体及真空宣/span>
2、温度控制系绞/span>
3、真空加热台
4、泵浦控制系绞/span>
5、真空泵(真空机械泵、真空扩散泵或真空涡轮泵(/span>
6、安全预警控制系绞/span>
7?/span>LED报警?/span>
8、水冷系绞/span>
9、电子锁自动锁死系统
10、气体质量流量控制系绞/span>
辅助配置9/span>
1、去离子氳/span>
2、惰性气佒/span>
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