产品名称：Harrick PDC�?2G�? 产品编号９�/p> 产品规格�

型号规格：PDC�?2G�?

整机规格�?.5��10��8（长���?#215;高）英寸 (216��254��203)mm

反应舱规格：��3��L6.5英寸耐热玻璃 (��76��L165)mm

反应舱有效容积：0.75L

输入电源�?20 V�?0Hz

整机输入功率�?00 W

射频输出档：低档680V DC�?0mA DC�?.8W/中档700V DC�?5mA DC�?0.5W/高档720V DC�?5mA DC�?8W

常用工作气体：空气、氩气、氮气或混合气体筈�/p>

特征：紧凑的台式设备，应用一�?*功率�?8瓦的RF线圈，没有RF幅射，符合CE安全标准。舱盖可拆卸、�/p>

选配件：石英等离子清洗舱

提供各自计量两种不同气体进气和监测压力的气体计量混合器Plasma Flo^TM

需要：兼容的真空泵�?小速率�?.4 m³/hr�?*极限�?00 MTorr

包括�?/8英寸NPT针阀束引入气体和控制压力