产品名称：Harrick PDC�?02－HP 产品编号９�/p>产品规格�

型号规格：PDC-002-HP

射频功率可调（低，中，高功率设置（�/span>

采用**45W的射频线圇�/span>

低射频功率的设置相当PDC-001/PDC-002高射频功率的设置

包括一�?#934;6� x � 6.5� 的Pyrex工作仒�/span>

铰链的门上带观察窖�/span>

活动风扇冷却

真空泵是整体式开兲�/span>

1 / 8“NPT计量阀能定性控制气体流动和反应仓压劚�/span>

1 / 8“NPT三通阀能在气体口、隔离仓、通风口间快速转捡�/span>

重量�?7磄�/span>

尺寸�?1" H x 18" W x 9" D