�?nbsp;ESDP干式螺杆泵的应用范围

　　●ESDP系列在半导体合成及液晶生产上的应用，主要有半导体等离子增强气相沉淀(PECVD)和反映离子刻蚀(RIE)工艺，液晶生产蚀刻制程和生产TFT荧幕电浆(PLASMA)的CVD制程中。此工艺要求返流�?，以保护工件免受污染、�/p>

　　� 在石油化工中，主要是抽取可凝性气体，或有毒气体，或腐蚀性气体，或含有微尘的气体、�/p>

　　●制药行业，用于药物的真空干燥，药物中间体回收，回收气体消毒剂，为人造器官提供清洁无菌条件等、�/p>

　　●化工中用于真空蒸馏及溶剂萃取回收，例如萃取回收丙酮，多元醇等工艹�/p>

　　●工业排氓�集中式真空处理系绞�/p>

　　●挤出机的混合工艺及板材的排气工艹�/p>

　　●混合树脂脱腥工艹�在脂肪酸生产中用于消除水污染，及喷射器中的阻塞物

　　●食品行业用于香料、香精浓缩，食品包装等、�/p>

　　�?nbsp;ESDP干式螺杆真空泵技术参�?/strong>

型号	抽气野�/td>	极限压力	电机功率	转逞�/td>	进气	排气	冷却水量	噪声	重量
	M³/h	Pa	KW	rpm	mm	mm	L/min	dB	Kg
ESDP320	260	1.33	7.5	2900	65	50	10	80	320
ESDP430	360	1.33	11	2900	65	50	12	80	380
ESDP650	540	1.33	15	2900	80	65	12	80	580
ESDP900	750	1.33	18.5	2900	100	65	20	80	680
ESDP1500	1400	1.33	37	2900	125	80	30	82	950

　　如需得到更为详细的信息，请咨询客服、�/p>

　　�?nbsp;ESDP干式螺杆真空泵标准配仵�/strong>

　　基座和防护罩

　　排气消声器及进气分离�?/p>

　　吸气叢�/p>

　　止回阀

　　真空讠�/p>

　　�?nbsp;ESDP干式螺杆真空泵可选配仵�/strong>

　　吸滤�?/p>

　　排气冷凝�?/p>

　　吸入式气液分离器

　　流量开关及温度开兲�/p>