产品类别：晶圆退�?/p>

产品简介：卧式晶圆退火炉

极限温度�?100�?nbsp;

加热尺寸（有效空间）：�?00 �?000mm

加热元件：电阻丝、灯管加�?nbsp;

适用于：4-8英寸晶圆硅片退火、氧化等热处琅�/p>

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