晶圆退火炉

极限温度�?050ℂ�/span>

加热尺寸（有效空间）９�span style="font-family: 微软雅黑, "Microsoft YaHei"; color: rgb(51, 51, 51); background: rgb(255, 255, 255);">Φ180mm L180mm

加热元件：电阻丝、灯箠�br style="font-family: "Microsoft YaHei New", "Microsoft Yahei", 微软雅黑, 宋体, SimSun, STXihei, 华文细黑, 微软雅黑, 宋體, simsun, sans-serif, Arial !important;"/>

适用于：晶片中温退火、场氧、增屁�/span>