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湖南烁科热工智能装备有限公司
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产品简今/div>
8”立式炉
设备型号:M51200-1/UM
主要用于半导体器件制程中的掺杂、氧化、推阱、退火、合金、薄膜沉积等工艺、/p>
技术参数:
主要用于半导体器件制程中的掺杂、氧化、推阱、退火、合金、薄膜沉积等工艺、/p>
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