该产品在使用功能上分为进气插件和排气插件，具备气体特殊的导流功能，能使工艺过程中反应气体的气流在中心位置得到增加，从而增加了晶圆中心位置的掺杂浓，改善了整个晶圆面内的掺杂均匀性。它可以保护半导体制造设备，使其免受腐蚀、磨损和其他因素的影响。这不仅可以提高设备的效率和寿命，还可以减少设备的维护和修理费用、�/p>