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合肥致真精密设备有限公司
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晶圆真空传输平台采用四边形、六边形或八边形设计，可以实现多个工艺室的互联，系统可选配机械臂和校准装置，可实现8?2吋晶圆的自动传输。系统搭配控制软件可实现安全可靠的控制、/p>
性能参数
晶圆尺寸 |
8?2吊/td> |
| 极限真空 | 优于5×10-7mbar |
| 前端模块 | 可选EFEM筈/td> |
| 对接叢/td> | 四个，六个，八个（可实现多套互联（/td> |
| 机械臁/td> | 可选单臂和双臂，定位精度?.1mm |
| 校准装置 | 对准器，校准传感?/td> |
| 真空系统 | 机械?分子泵，可选离子泵筈/td> |
| 控制系统 | PC+PLC 安全互锁，碰撞保?真空互锁筈/td> |
| 标准 | SEMI |
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