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合肥致真精密设备有限公司
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脉冲激光沉积设备是高校和科研院所常用的氧化物和多组分薄膜沉积设备，该设备具有简单可靠、运行稳定的特点。PLD-400型脉冲激光沉积设备，标配6?inch靶材，靶材可以原位更换，配合RHEED和准分子激光器可以实现高质量薄膜的沉积、/p>
性能参数
晶圆尺寸 |
2inch |
极限真空 |
5×10-9mbar |
温控 |
RT-1200ℂ/p> |
| 靶台数量 | 6?inch 靶材??inch靶材 靶台公自转设计（可单独旋转） |
| 靶材更换 | 原位更换靶材 |
| 激光源 | 准分子激光器 |
| 常用材料 | BFO、SRO、VO2筈/td> |
| 占地面积 | 3m L*2m W*2m H |
| 可逈/td> | 自动传输、反应沉积、膜厚仪、工艺菜单、高压RHEED筈/td> |
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