认证信息
高级会员
1平/div> 称：
合肥致真精密设备有限公司
证：工商信息已核宝br /> 访问量：8577
证：工商信息已核宝br /> 访问量：8577
手机网站
扫一扫，手机访问更轻杽/div>
产品分类
产品简今/div>
MS-400磁控溅射设备是一款多功能多靶磁控溅射系统，具有超高真空，单原子层沉积精度，设备维护简单的特点。MS-400系统标配6?inch共焦超高真空阴极，满足实验室或企业实验室中工艺研究的需求，维护简单，运行稳定、/p>
性能参数
晶圆尺寸 |
4inch向下兼容 |
镀膜均匀?/p> |
优于±2% |
极限真空 |
优于1×10-9mbar（金属密封） 优于1×10-8mbar（胶圈密封） |
温控 |
RT-800℃，可?*1200ℂ/p> |
阴极数量 |
6~7?inch，共焦溅尃/td> |
客户案例1
通过本MS-400科研级磁控溅射，制备了具有强PMA的Mo基结构的单自由层和双自由层MTJ磁隧道结薄膜、/p>
- 推荐产品
- 供应产品
- 产品分类
- 科研级磁控溅射设备—MS-300
- 电子束蒸发设备—E-Beam-HV
- 脉冲激光沉积设备—PLD-400
- 电子束蒸发设备—E-Beam-UHV
- 桌面式磁控溅射设备—MS-200
- 科研级磁控溅射设备—MS-400
- 生产型磁控溅射设备—MSI-100-UHV
- 超高真空管道传输设备
- 分子束外延设备—MBE-400
- 量产级多功能薄膜沉积设备