IoN 100 WB是我�?*推出的具有高性价比的真空等离子清洗设备。它来源亍�/span>IoN 100系列＋�/span>IoN 100 WB延续了同样的高品质保障，包括可选压力控制器、光谱终点检测器以及各种不同的电极组构造、�/span>

IoN 100 WB旨在满足客户大批量生产的需求，着重于表面处理的多功能性和可控性。其先进的性能提供了出色的工艺控制、失效报警系统和数据采集软件。这使得该设备可满足半导体、生命科学等领域严格的控制要求、�/span>IoN 100 WB结构紧凑，集成度高，采用射频＇�/span>RF）频率激发等离子体、�/span>

IoN 100 WB的另一个独特之处是可以迅速快捷的更换不同类型的电极结构、�/span>

先进的功能特性：
�触摸屏操作，图形用户界面＇�/span>GUI（�/span>

�可配置的腔室可使用不同类型电极，适用于大批量处理或特殊的垂直悬挂处理

�使用Windows系统的工业计算机控制

�工艺员、操作元、维护员访问权限控制

�自诊断功能和警报记录功能，联网在线诊断功胼�/span>

�以太网远程控制功胼�/span>

�工艺编辑软件提供了快速灵活的步骤控制功能

�安装简单快捶�/span>

规格参数
工作腔室材料铝（标配（�/span>
容积107卆�/span>
内部尺寸375 x 375 x 762 mm（宽/髗�/span>/深）
　　　　　　　

工艺气体
质量流量控制讠�/span>*多至6路气佒�/span>
工艺压力200-2000 mTorr(取决于真空泵和气体流野�/span>)
抽真空时闳�/span>大约1分钟(取决于真空泵)

射频电源风冷13.56MHz,600�?/span>(标准配置)
供给需求电源　　　　　220V单相, 50Hz
工艺气体输入压力1-2 bar
吹扫气体输入压力1-2 bar
压缩空气输入压力4-6 bar

机体

�独立的机体带有所有电源和气体接口
�带有旋转垫脚的可转动机身

设备尺寸
标准尺寸1067 x 737 x 1245 mm（宽/髗�/span>/深，不含泵）
重量�?/span>239千克（不含泵（�/span>

可选项
◎�/span>不锈钢腔佒�/span>

◎�/span>压力控制�?/span>
◎�/span>1%精度的真空规
◎�/span>指示灯柱
◎�/span>条形码阅读器
◎�/span>工艺气体切换�?/span>
◎�/span>光谱终点检测器

◎�/span>耐腐蚀性气体的MFC
◎�/span>1000�?/span>13.56 MHz射频发生�?/span>
◎�/span>水冷朹�/span>
◎�/span>液态单体操作装�?/span>
◎�/span>真空泵（油泵、干泵或罗茨泵组（�/span>
◎�/span>汽相MFC