先进的功能特性：
�灵活的电极设计保证了工艺的均匀�?/span>
�使用Windows系统的工业计算机控制
�触摸屏操作，图形用户界面＇�/span>GUI（�/span>
�菜单驱动式工艺过稊�/span>
�绘图和自诊断功能
�以太网通讯功能
�节能模式
�工艺编辑软件提供了快速灵活的步骤控制功能
�安装简单快捶�/span>

规格参数
工作腔室材料９�/span>铜�/span>
容积９�/span>36.5卆�/span>
内部尺寸�?nbsp;229 x 330 x 483 mm
　　　　　　　
可选电�?/span>
◎�/span>可抽卸的多层电极松�/span>
◎�/span>垂直电极
◎�/span>3层温控电�?/span>
◎�/span>低微粒电�?/span>
◎�/span>次级等离子体电极

工艺气体
质量流量控制计：*多至6路气佒�/span>
工艺压力９�/span>200-2000 mTorr(取决于真空泵和气体流野�/span>)
抽真空时间：大约1分钟(取决于真空泵)
放气�?nbsp;可调
射频发生器：风冷13.56MHz,600�?/span>(标准配置)
供给需求电源：　　　　　220V单相,2.3 KW, 50Hz
工艺气体９�/span>输入压力1-2 bar
吹扫气体９�/span>输入压力1-2 bar
压缩空气９�/span>输入压力4-6 bar
尺寸９�/span>宼�/span>/髗�/span>/淰�/span>775 x 723 x 781 mm（不含泵（�/span>
重量９�/span>�?/span>157千克（不含泵（�/span>

可选项
◎�/span>压力控制�?/span>
◎�/span>1%精度的真空规
◎�/span>指示灯柱
◎�/span>条形码阅读器
◎�/span>工艺气体切换�?/span>
◎�/span>光谱终点检测器
◎�/span>300�?/span>13.56 MHz射频发生�?/span>
◎�/span>水冷朹�/span>
◎�/span>单体处理装置
◎�/span>真空泵（油泵或干泵）
◎�/span>气相MFC