仪器简介：

Talysurf CCI三维非接触形貌仪采用CCI�?*技术的相干相关算法）干涉原理，可高精度测量表面形貌、表面粗糙度及关键尺寸，并计算关键部位的面积和体积。主要应用于数据存储器件，半导体器件，光学加工以及MEMS/MOEMS技术以及材料分析领域�

技术参数：

(1) 类型� CCI 干涉（相干相关干涉）

(2) 分辨率： 0.1 A

(3) 测量点数� 1�?48�?76 ( 1024 x 1024 点阵 )

更详细参数和有关应用问题请垂询办事处产品负责人�

主要特点９�/strong>

?**的相干相关算�

?0.01nm分辨�

?10-20秒测量时�

?RMS重复性：0.03A