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张保囼/div>
张保囼/span> 教授
职称9/span>教授
专业类别9/span>材料化学
所在单位:河北工业大学
研究方向9/span>
1. 大规模集成电?0-14nm技术节点的化学机械平坦化新工艺的研 2. 化合物半导体材料表面抛光及清洗加工技术的研究 3. 倒装LED芯片工艺中关键技术的研究 4. 柔性高效太阳能电池新工艺的研究

教授,博士生导师?000年,美国内华达大学里诺分校获工学博士学位?000-2011年,在美国AXT,Wafer World,SVTC, Alta Devices等半导体高科技公司工作,研究方向:半导体材料(Si, Ge,GaAs, InP等)化学机械抛光和表面清洗,以及集成电路化学机械平坦化工艺(Cu, Ta, W, SiO2等), 担任高级工程师?011-2013年,在江苏省创办无锡纳克斯半导体材料公司,担任总经理,兼任技术总监?013年,加入河北工业大学电子与信息工程学院,任特聘教授。江苏省双创人才,河北省百人计划人才,燕赵友谊奖获得者、br />
学术成果:微电子技术与材料方向负责人,国际ICPT程序委员会委员、中国半导体协会平坦化技术联盟执行委员、中国颗粒学会颗粒制备与处理专业委员会委员,承担河北省科技支撑项目一项。共发表包括《Applied Surface Science》、《ECS Solid State Science and Technology》、《人工晶体学报》等学术论文二十余篇。已发布及获得知识产权专利四项

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