金刚矲/p>
碳化硅体积分?5~70%
维氏硬度kg/mm2
8000-10000
热导?(W/mK)@25?
1000-2000
密度(g/cm³)
3.51
线热膨胀系数(CTE ppm/?
2.3
电阻玆/p>
?010Ωcm（底面抛光）
?06Ωcm（生长面（/p>
切割公差
?.03mm
粗糙?/p>
?.03µm
毛坯厚度
0.30-2.5mm
